《科创板日报》17日讯，芯源微今天在企业建立二十周年之际举办新品发布会，宣告推出新一代浸没式高产能涂胶显影机FT(III)300。作为芯源微自主开发的第三代机型，浸没式高产能涂胶显影机具有高产能、高工艺才能、高洁净度、高扩展性和易保护性等优势。现在，该款机型已经过客户端验证，到达客户量产要求，成功打破国外独占，填补国内空白。新品发布会以线上方式举办，记者经过查询了解到，该机型可在杂乱光刻工艺下完成300片以上产能，一起可匹配一切干流光刻机联机量产，经过选配掩盖国内28nm及以上一切工艺节点、掩盖offline Barc、KrF、ArF、浸没式等光刻工艺。芯源微董事长宗润福表明，该机型下流意向客户掩盖国内逻辑、存储、功率器材等多家国内闻名厂商，估计下一年可完成批量订单。

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